JOURNAL OF THE SOCIETY OF GRINDING ENGINEERS
Vol.41 No.3 CONTENTS


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会 告 ・ 会 報

ABTEC’97 1997年度砥粒加工学会学術講演会 講演募集について
77
ABTEC’97(砥粒加工学会学術講演会)講演論文集への広告掲載のお願い 79
1997年度砥粒加工学会次世代砥粒加工技術専門委員会賛助員参加企業募集 80
第2回砥粒加工学会論文賞審査報告


81



特    集
  先端砥粒加工:研削  

大口径ウェーハ(12インチ)超精密研削盤の開発
 小林一雄


82

12インチ切断用IDブレード
 堀江惣治


86

顕微鏡用光学部品の加工
 佐伯 優,岸田尚之



90



解     説

オフセット砥石の騒音・振動・粉塵に関する測定例とその対策
 -第2部:自由研削における振動と浮遊粉塵について-

 岡田昭次郎,米川善晴,神山宣彦,岩崎 毅,高橋幸雄,金田一男,
 篠原也寸志,西村敏明



93



論    文

シリカ系ガラスへの圧子押込みにおける亀裂の生成・進展挙動と雰囲気の効果
 于 化東,森田 昇,吉田嘉太郎


97

遠心力利用磁気研磨法の溝仕上げへの適用
 鈴木 清,北嶋孝之,蒔崎 剛,植松哲太郎



102



速     報

単結晶SiCのELID鏡面研削における結晶方位の影響
 大森 整,松澤 隆
106
酸化チタンの超精密ELID鏡面研削特性
 川口祐司,大森 整,田中俊次
109
デバイス化ウェーハのプラナリゼイション(平坦化)ポリシング技術
 松永正久



112



編 集 後 記




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