JOURNAL OF THE SOCIETY OF GRINDING ENGINEERS
Vol.41 No.4 CONTENTS
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会 報 |
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会長就任にあたって
庄司克雄 |
117 |
| 第2回砥粒加工学会論文賞受賞者紹介 |
118 |
| 第1回砥粒加工学会奨励賞受賞者紹介 |
118 |
平成8年度次世代砥粒加工技術専門委員会活動報告
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119
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特 集
先端砥粒加工:研磨 |
CMP装置の現状と展望
辻村 学
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120
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精密研磨に利用する金属酸化物ゾル
吉田明利,太田勇夫,加賀隆生,西村 透
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124
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移動体通信用水晶素板の研磨技術
佐藤佐知雄
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127
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連 載 |
砥粒と化学(2) 「微粒子分散の原理」
河田研治
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131
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論 文 |
超精密ELID研削における非球面形状の制御
守安 精,大森 整,中川威雄,加藤純一,山口一郎
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135
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研削加工の改善を実施するための環境コントロール概念の提案
井原 透
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142
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高速CMPによるグローバル平坦化時の研磨機構に関する研究(第1報)
佐藤修三
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147
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編 集 後 記
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