JOURNAL OF THE SOCIETY OF GRINDING ENGINEERS
Vol.41 No.4 CONTENTS


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会     報

会長就任にあたって
  庄司克雄
117
第2回砥粒加工学会論文賞受賞者紹介 118
第1回砥粒加工学会奨励賞受賞者紹介 118
平成8年度次世代砥粒加工技術専門委員会活動報告


119



特    集
  先端砥粒加工:研磨  

CMP装置の現状と展望
 辻村 学


120

精密研磨に利用する金属酸化物ゾル
 吉田明利,太田勇夫,加賀隆生,西村 透


124

移動体通信用水晶素板の研磨技術
 佐藤佐知雄



127



連     載

砥粒と化学(2) 「微粒子分散の原理」
 河田研治



131



論    文

超精密ELID研削における非球面形状の制御
 守安 精,大森 整,中川威雄,加藤純一,山口一郎


135

研削加工の改善を実施するための環境コントロール概念の提案
 井原 透


142

高速CMPによるグローバル平坦化時の研磨機構に関する研究(第1報) 
 佐藤修三



147



編 集 後 記





154