JOURNAL OF THE SOCIETY OF GRINDING ENGINEERS
Vol.41 No.9 CONTENTS


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会     告

平成9年度砥粒加工学会 第2回見学会
321
ABTEC’97(1997年度砥粒加工学会学術講演会)
  実行委員会からのお知らせ



321



特     集
 加工表面の測定と評価(1) 
サーフェステクスチャ

精密加工面品質と精度設計論
 高沢孝哉


322

曲面形状の測定 -非球面光学素子の形状計測を例に-
 塩澤 久,市川 元


328

三次元表面粗さの測定とパラメータ化
 柳 和久



332



論    文

セグメント型ブレードを用いた振動外周刃切断の加工特性に関する研究 
 石川憲一,諏訪部 仁,畝田道雄


336

LSIデバイスの平坦化(CMP)におけるパターン依存性の検討
 長谷川 森,小寺 直,林出吉生,坂井裕一,千葉原宏幸,佐々木孝典


342

光切断法による砥粒突出し高さの測定
 横沢 毅,鈴木節男,朝比奈奎一,四方田和雄


346

ラッピングテープによるチタン合金の研磨
 -加工液の種類が研磨特性に及ぼす影響-

 友田英幸,北嶋弘一,岡山勝弥,大坪宏誠



352



編 集 後 記






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