JOURNAL OF THE SOCIETY OF GRINDING ENGINEERS
Vol.41 No.9 CONTENTS
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会 告 |
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平成9年度砥粒加工学会 第2回見学会 |
321 |
ABTEC’97(1997年度砥粒加工学会学術講演会)
実行委員会からのお知らせ
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特 集
加工表面の測定と評価(1) サーフェステクスチャ |
精密加工面品質と精度設計論
高沢孝哉
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322
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曲面形状の測定 -非球面光学素子の形状計測を例に-
塩澤 久,市川 元
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328
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三次元表面粗さの測定とパラメータ化
柳 和久
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332
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論 文 |
セグメント型ブレードを用いた振動外周刃切断の加工特性に関する研究
石川憲一,諏訪部 仁,畝田道雄
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336
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LSIデバイスの平坦化(CMP)におけるパターン依存性の検討
長谷川 森,小寺 直,林出吉生,坂井裕一,千葉原宏幸,佐々木孝典
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342
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光切断法による砥粒突出し高さの測定
横沢 毅,鈴木節男,朝比奈奎一,四方田和雄
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346
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ラッピングテープによるチタン合金の研磨
-加工液の種類が研磨特性に及ぼす影響-
友田英幸,北嶋弘一,岡山勝弥,大坪宏誠
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352
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編 集 後 記
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