JOURNAL OF THE SOCIETY OF GRINDING ENGINEERS
Vol.41 No.11 CONTENTS
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会 告 |
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平成9年度 第3回研究・見学会「最近のユニークな研削・研磨技術」
-大阪ダイヤモンド工業(株)播磨工場を訪ねて- |
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研究会「次世代の半導体加工技術,測定技術」
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410
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特 集
加工表面の測定と評価(2) サーフェスインテグリティ |
微細表面欠陥のレーザ応用計測技術
三好隆志
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超音波顕微鏡による加工表面の評価
石川 潔
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416
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機械加工表面の評価と分析
水原和行
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420
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論 文 |
CBN砥石によるコンタリング研削における高速研削性能
今井智康,向井良平,吉見隆行,吉川昌範
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424
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炭化けい素ウイスカーラップ砥石による加工
洞口 巖,山口勝美
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428
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遊星形インフィードツルーイングに関する研究
松井 敏
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434
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研削加工液の動圧挙動の測定
植松哲太郎,張 波,蒔崎 剛,鈴木 清
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438
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編 集 後 記
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