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特 集 | |
| メタルジェットによるマイクロ3次元造形とその応用 | |
| Micro-prototyping by Metal Jet and Its Applications | |
| Key Words : | metal jet, prototyping, metal droplet, bump formation, functional structure |
| 山口勝美 Katsumi YAMAGUCHI | |
| X線を利用したマイクロ・ナノ加工技術とその応用 | |
| Micro/Nano fabrication technology using X-Ray and it's application | |
| Key Words : | X-Ray, LIGA, micro, nano, fabrication, 3-Dimension |
| 田畑 修 Osamu TABATA | |
| ナノインプリント技術の現状 | |
| Recent trend of nanoimprint technique | |
| Key Words : | nanoimprint lithography, photo-curable resin, mold, ultra-violet light, SOG |
| 谷口 淳，宮本岩男，古室昌徳，松井真二 Jun TANIGUCHI, Iwao MIYAMOTO, Masanori KOMURO, and Shinji MATSUI | |
| ダイヤモンドMEMS | |
| Diamond-based microelectromechanical systems (MEMS) | |
| Key Words : | CVD diamond, MEMS, micromachining, microstructures, microsensors |
| 柴田隆行，牧野英司 Takayuki SHIBATA, Eiji MAKINO | |
| STMを利用したナノ加工技術のメカニズム －STM加工とエレクトロマイグレーション－ | |
| Mechanism on STM lithography for nano-processing - STM lithography and electromigration - | |
| Key Words : | STM lithography, electromigration, mass flux balance, non-equilibrium thermodynamics, surface diffusion |
| 小竹茂夫，鈴木康二，鈴木泰之，妹尾允史 Shigeo KOTAKE, Kouji SUZUKI, Yasuyuki Suzuki and Masafumi SENOO | |
論 文 | |
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ウィスカー快削性セラミックスの被削性 千徳英一，鬼頭 充，中川多津夫 The machinability of whisker machinable ceramics. Eiichi Sentoku, Mituru Kito and Tatuo Nakagawa | |
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ウィスカーを添加した快削性セラミックスは，従来の快削性セラミックスの高強度化を目的に酸化物のウィスカー繊維を添加したものである．
本研究では，2種類のウィスカーを添加し，プレス法と泥しょう法の2種類の製造方法による材料で2次元切削を行い，比切削抵抗，硬さ（ショア硬度，ビッカース硬度）の関係について検証した．
その結果，(1) ウィスカーを添加するとクラックがウィスカーの引き抜けや切断といった余分なエネルギーを負荷されるために比切削抵抗は上昇するが，増量しすぎると添加による気孔が増加し，その値は減少する．
(2) ショア硬度，ビッカース硬度ともにウィスカーを添加すると値が上昇し，増量しすぎると値は減少するなどの点を明らかにした．
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| Key Words : |
machinable ceramics, 9Al2O3 2B2O3 whisker, K2O 6TiO2 whisker, slip casting, press pr, orthogonal cutting |
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チタン合金の鏡面研削加工 田中善衛，小関隆博，金田 亮，菅野幹男 Mirror surface grinding of titanium alloy Zen-ei TANAKA, Takahiro KOSEKI, Ryou KANEDA and Mikio SUGANO | |
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難削材に属するチタン合金（Ti-6Al-4V）をサブミクロン尺度の平面度と加工面粗さで鏡面研削加工を行うための条件を検討した．
その結果，砥石にはレジノイドダイヤモンド砥石，研削液にはケミカルソリューションタイプの高圧供給法が適し，切込み量 t =1μm に対する加工条件としてテーブル速度 v =5m/min，砥石周速度 V ≒800m/min が最適であることを実験的に明らかにした．
また，研削加工後の被削材表面層には圧縮残留応力が生成し，その大きさは研削方向よりもこれと直角方向の値が大きく，残留応力に異方性が認められた．
冷凍チャックとレジノイドダイヤモンド砥石#1200の使用により，研削加工で，平面度0.7μm，加工面粗さ Ry=0.06μm の鏡面仕上げを達成できた．
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| Key Words : |
titanium alloy, grinding wheel, high pressure injection fluid, freeze chuck, mirror surface grinding, surface roughness, surface flatness, ultra precision grinding, residual stress |
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自由曲面の研削加工に関する研究 ボール状ホイールによる傾斜面の研削抵抗 喜田義宏，權 泰勲，中尾 博，崔 桓，中川平三郎，垣野義昭 Basic research of free surface grinding Grinding force of inclined surface by ball type wheel Yoshihiro KITA, Tae-hoon KWON, Hiroshi NAKAO, Hwan CHOI, Heizaburo NAKAGAWA, Yoshiaki KAKINO | |
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近年グラインディングセンタが開発され，曲面や三次元形状物の研削が可能になった．
自由曲面の研削加工ではボール状ホイールが有効と考えられるが，ボール状ホイールによる研削加工の報告は少ない．
本研究はボール状ホイールを用いた曲面研削の基本として傾斜面の研削を行い，ボール状ホイールの研削抵抗について考察したものである．
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| Key Words : |
grinding center, ball type wheel, grinding force, free surface grinding |