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特 集 | |
| レーザ加工の現状と将来 | |
| Trends of laser machining | |
| Key Words : | laser machining, YAG laser, femtosecond laser pulse, eximer laser, 3D-machining, dicing, marking, drilling |
| 池野順一 Junichi IKENO | |
| 半導体ウェーハにおけるレーザダイシング加工 | |
| Laser dicing process for Si wafer | |
| Key Words : | laser, low-k, wafer dicing, grooving, blade dicing |
| 荒井一尚 Kazuhisa ARAI | |
| 高平均出力フェムト秒レーザの産業応用 | |
| Industrial applications for high average power femto-second lasers | |
| Key Words : | laser, drilling, dicing, cutting |
| 関田仁志 Hitoshi SEKITA | |
| CO2 / UV レーザドリル微細加工 | |
| CO2/ UV laser drill machine for micro processing | |
| Key Words : | micro via drilling，build up substrate，pulse laser，third harmonic solid state laser |
| 礒 圭二 Keiji ISO | |
| YAGレーザによる3次元形状加工 | |
| Three-dimensional machining with YAG laser | |
| Key Words : | 3-D machining, YAG laser, laser milling, Q-switch, high power |
| 北村洋吾 Yogo KITAMURA | |
論 文 | |
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エアー浮上式精密ベルト研削による高精度加工面の形成 豊浦 茂，峠 睦，渡邉純二 Formation of high quality surface by air-floating precision belt grinding Shigeru TOYOURA, Mutsumi TOUGE and Junji WATANABE | |
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本研究は従来のベルト研削に幾つかの新技術を付加し，良好な仕上面粗さと高い平面度を有する加工面を高能率に加工できる精密ベルト研削技術の構築と装置の開発を目的としている．
付加した新技術は加工圧力均一化のための空気圧による研削ベルトの浮上および面だれ防止用の面板の創設，仕上面粗さ向上のための被削材の回転等である．
今回付加した新技術の効果を確認するため，アルミナ研削ベルトによるSS400鋼のベルト研削を行い，仕上面粗さRa20～30nm，平面度１μm以下（長さ28mmに対して）の高精度加工面を形成することができた．
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| Key Words : |
precision belt grinding, high quality surface, face plate, surface roughness, flatness |
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二次元自由運動機構を適用した磁気援用研磨装置による 超硬合金の鏡面仕上げに関する研究 第1報：熟練工の研磨技術の機械化について 山本親慶，中田 勲，福田雅秀，進村武男 Study on mirror surface finishing of cemented carbide by magnetic field-assisted polishing with two dimensional free movement mechanics 1st report：Mechanization of skilled worker's polishing technology Chikayoshi YAMAMOTO, Isao NAKADA, Masahide FUKUDA and Takeo SHINMURA | |
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精密金型の研磨作業において長年の経験を積んだ研磨職人は，工作物表面に異常負荷がかかると手先の力を微妙に調節して，工作物表面を傷つけることなく平滑に仕上げる特殊研磨技能を持っている．
この匠の技を機械化することを目的として，工作物が平面方向に自由に揺動運動できる機構を有する磁気援用研磨装置を試作した．
また，この試作機を用い，コーティング処理した磁性鉄粉，高速度鋼粉および磁性ステンレス鋼ピンを研磨材として，超硬合金の鏡面研磨加工の可能性について検討した．
その結果，高速度鋼粉を用いることによって，超硬合金の鏡面研磨加工が可能であることが分かった．
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| Key Words : |
magnetic field-assisted polishing, cemented carbide, mirror surface finishing, two dimensional free movement, skilled worker |
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二次元自由運動機構を適用した磁気援用研磨装置による 超硬合金の鏡面仕上げに関する研究 第２報：溝形状を有する金型の３面同時研磨への応用 山本親慶，中田 勲，福田雅秀，進村武男 Study on mirror surface finishing of cemented carbide by magnetic field-assisted polishing with two dimensional free movement mechanics 2nd report：Application to 3 surfaces simultaneous polishing of slot of molding die Chikayoshi YAMAMOTO, Isao NAKADA, Masahide FUKUDA and Takeo SHINMURA | |
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熟練工の研磨技術を取り入れ，工作物が平面方向に自由に揺動運動できる機構を付加した磁気援用研磨装置を用いて，溝形状を有する超硬合金の溝部内面の鏡面研磨加工を試みた．
その結果，超硬合金工作物の溝部と回転磁極の断面を相似形状とし，磁性研磨材にダイヤモンド砥粒を含む高速度鋼粉を用いることにより，溝の底面および両側面の同時鏡面研磨が可能であることが分かった．
また，側面を研磨する際の揺動運動が加工特性に及ぼす影響について検討した．
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| Key Words : |
magnetic field-assisted polishing, cemented carbide, mirror surface finishing, two dimensional free movement, 3 surfaces simultaneous polishing |
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金属粒子適用マイクロファブリケーションの基礎的研究 第１報：鋼の微小引っかきに及ぼす第２相合金の影響 谷山久法，江田 弘，清水 淳，周 立波，中沢由加里，佐藤潤一 Basic research on microfabrication applied to metal particles 1st report：Effect of second phase in steels on microscratching Hisanori TANIYAMA, Hiroshi EDA, Jun SHIMIZU, Libo ZHOU, Yukari NAKAZAWA and Junichi SATO | |
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マイクロ部品を除去加工により製作するとき，微視的なレベルでみた被削材の不均質性が加工品質に大きく影響すると考えられる．
本研究では機械構造用鋼であるS25Cを用いて電子顕微鏡のチャンバ内で微小引っかき実験を行ない，マイクロ機械加工するときに鋼の組織が加工特性に及ぼす影響について検討した．
その結果，S25Cの組織であり機械的性質が著しく異なるフェライトとパーライトの引っかき溝幅および引っかき力には大きな差があり，両組織はマイクロ加工において被削材内の不均質な部分として作用し，鋼の加工特性に大きく影響することが明らかとなった．
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| Key Words : |
carbon steel, ferrite, pearlite, cementite, SEM, scratched groove, scratching force, normal force |